電(diàn)子(zǐ)級 (4-(叔丁基)苯基)二苯¶®$​基磺酸鹽 1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽

電(diàn)子(zǐ)級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是(shì)一(yī)種特殊用(yòng) ₹途的(de)光(guāng)敏化(huà)合物(wù)，結合了(®$•le)锍陽離(lí)子(zǐ)的(de)高(gāo)光(guāng)₹‍→'化(huà)學活性和(hé)五氟丙烷磺酸根的(de)優異¥¶化(huà)學穩定性。其高(gāo)純度和(hé)精細的(de)分(fēn)≥'子(zǐ)設計(jì)，使其成為(wèi)先進半導體(tǐ)₹₹Ω制(zhì)造中光(guāng)刻膠和(hé)其他(tā)✘&↑₹光(guāng)敏材料的(de)重要(yào)組成部分(&&fēn)。

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[物(wù)理(lǐ)性質]

中文(wén)名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽

英文(wén)名稱：(4-(tert-butyl)pheny×☆✔→l)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-p÷€≈entafluoropropane-1-sulfo®$ πnate

分(fēn)子(zǐ)式：C₂₅H₂₅F₅O₃S₂。

分(fēn)子(zǐ)量：532.12 g/mol。

純度：≥99.9%，電(diàn)子(zǐ)級标準。

溶解性：

（1）溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(jī)溶劑，如(rú)丙酮♥₹、乙腈等。

（2）對(duì)水(shuǐ)不(bù)溶，具有(yǒu'Ω≠↔)疏水(shuǐ)性。

熱(rè)穩定性：耐受高(gāo)達250°C的(de)高(gāo)溫，無分(fēn)解現(xiàn)象。

光(guāng)敏性能(néng)：在深紫外(wài)光(guāng)£∏（DUV）和(hé)極紫外(wài)光(guāng)（÷$←EUV）波長(cháng)下(xià)具有(yǒu)高(gāo)光(guāng)活性★≈δ。

[應用(yòng)領域]

先進光(guāng)刻膠技(jì)術(shù)

（1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)敏劑，提高(gāo)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠的(de)光(guāng)解效率和(hé)顯♦§影(yǐng)性能(néng)。

（2）增強光(guāng)刻工(gōng)藝中的(deε≈™π)分(fēn)辨率和(hé)圖形精度。

半導體(tǐ)制(zhì)造

（1）支持高(gāo)精度微(wēi)納米器(qì)件(α♣♦☆jiàn)的(de)圖形轉移。

（2）适用(yòng)于化(huà)學放(fàΩ±ng)大(dà)型光(guāng)刻膠，在高(gāo)複雜(zá)βλα性芯片制(zhì)造中發揮作(zuò)用(yòng÷↓)。

新材料研發

（1）用(yòng)于開(kāi)發高(gāo)性能(néng)光(guāng)敏≈∏γ薄膜材料。

（2）适用(yòng)于光(guāng)電(diàn)材料及高(gā↕±o)端顯示設備的(de)精密制(zhì)造。

優勢

該産品結合了(le)高(gāo)純度、熱(rè)穩定性和(hé)優異的(d₩ e)光(guāng)敏性能(néng)，可(kě)顯著提升光(guāng)刻≤©§膠的(de)性能(néng)表現(xiàn)，是(shì¥β)滿足半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)高(gāo)精度制↓<≈(zhì)造需求的(de)理(lǐ)想選擇。