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| 英文(wén)名稱 | (4-(tert-butyl)phenyl)diσ≈ >phenylsulfonium,2,3,4,5,6-pentaflu←±♣orobenzenesulfonate |
|---|---|
| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級 (4-(叔丁基)苯基)二苯基§σ★磺酸鹽，2,3,4,5,6-五氟苯磺酸铵(1:1) |
| CAS号 | 0-0-YH84016 |
| 産品編号 | YH84016 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C28H23F5O3S2 |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 566.1 |
電(diàn)子(zǐ)級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍五氟苯磺酸鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)純度、穩定的(de)锍×≤±鹽化(huà)合物(wù)。其獨特的(de)三芳基锍陽離(lí)αδ子(zǐ)和(hé)強酸性五氟苯磺酸陰離(lí)&₽↓子(zǐ)，使其具備優異的(de)光(guāng)敏和(hé)化(hσ↔→uà)學特性，特别适用(yòng)于半導體(tǐ)制(zhì)造中的×"™(de)光(guāng)刻膠配方及其他(tā)高(gāo)精度微(wēi)加®€$✘工(gōng)應用(yòng)。
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[基本信息]
中文(wén)名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽，2,3,4,5,6-五氟苯磺酸铵(1:1)
英文(wén)名稱：(4-(tert-butyl)phenyl) diphenyl sulf&←♠→onium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenes±≥ulfonate
分(fēn)子(zǐ)式：C28H23F5O3S2
分(fēn)子(zǐ)量：566.1 g/mol。
外(wài)觀：白(bái)色或淺黃(huáng)色×π↔粉末或結晶體(tǐ)。
純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級材料要(yào)求。
溶解性：
（1）溶于極性有(yǒu)機(jī)溶劑，如(rú)乙腈、二氯甲€→烷。
（2）不(bù)溶于水(shuǐ)，表現(xiàn)出良好(hǎo)的(de∞ φ)溶劑選擇性。
熱(rè)穩定性：能(néng)夠在300°C以下(xià)保持化(huà)學穩定性。>♣←
[應用(yòng)領域]
光(guāng)刻膠行(xíng)業(yè)₹δ"
（1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)刻膠中的(de)光₹₹×ε(guāng)敏劑，提高(gāo)曝光(&×Ωguāng)分(fēn)辨率。
（2）适用(yòng)于深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻技(jì)術(shù)，滿足納米級圖£ε形制(zhì)造需求。
微(wēi)電(diàn)子(zǐ)制(zhì)造
（1）用(yòng)于幹法蝕刻和(hé)抗蝕劑技(jì↔€)術(shù)，提升加工(gōng)精度。
（2）支持複雜(zá)的(de)微(wēi)納圖形制(zh©Ωì)造工(gōng)藝。
高(gāo)性能(néng)材料開(kāi)發
（1）在功能(néng)性薄膜中提高(gāo)材料的(de)耐久性和(h✘✔σβé)穩定性。
（2）廣泛應用(yòng)于高(gāo)端顯示器(qì)和(hé)新能¶←(néng)源設備的(de)加工(gōng)。
該産品憑借其高(gāo)純度與性能(néng)穩定性，已成為(w'π∏èi)現(xiàn)代電(diàn)子(zǐ)制(zhì)造技(jì≤≠§γ)術(shù)中的(de)關鍵化(huà)學品，為(wèi)提高(gāo)器✘<(qì)件(jiàn)的(de)可(kě♣€ε)靠性和(hé)制(zhì)造效率提供了'σ(le)堅實保障。
