電(diàn)子(zǐ)級 雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽

電(diàn)子(zǐ)級雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽是(shì)一(yī)種專為(wèi)半σ↓£π導體(tǐ)制(zhì)造和(hé)光(guΩλ↑ āng)刻工(gōng)藝設計(jì)的(∑↕¶σde)高(gāo)純度化(huà)學品。它作(zuò)為(∞±©wèi)一(yī)種光(guāng)酸生(shēng)成劑（PAG），在光(guāng)刻膠中具有(yǒu)重要(yào)的(de)應用(→φyòng)，能(néng)夠在紫外(wài)光(guāng)照('απzhào)射下(xià)生(shēng)成強酸，有(yǒu)效促進圖α↔案轉移和(hé)細節精度提升。其分(fēn)子(α§Ω§zǐ)結構中的(de)碘鹽和(hé)五氟©πφ<乙烷磺酸基團使得(de)該化(huà)合物(wù)在高(gāo)精度微 ®→(wēi)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(jiàn)制(φ♠∞zhì)造中發揮著(zhe)至關重要(yào)的(de)作(z® ¶uò)用(yòng)，特别是(shì)在先進的(de)半導體(‍<≥tǐ)芯片制(zhì)造和(hé)微(wēi)米級結構的(de)精細加工(gō∏δ↔ng)中。

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【基本信息】

中文(wén)名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽

英文(wén)名稱: bis(4-(tert-butyl)ph♠×enyl)iodonium ,pentafluoroeth&αanesulfonate

分(fēn)子(zǐ)式：C₂₂H₂₆F₅IO₃S

分(fēn)子(zǐ)量：592.06

外(wài)觀：黃(huáng)色至橙色固體✘←×₩(tǐ)

溶解性：易溶于有(yǒu)機(jī)溶劑如(rú)二甲基亞硫酰胺（DMSO）、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等，溶解度較低(dī)于水(shuǐ)

熔點：約135-145℃

分(fēn)解溫度：＞230℃

儲存條件(jiàn)：應存放(fàng)在幹燥<≥✔♦、陰涼、避光(guāng)環境中，推薦儲存溫度不(bù)超 ☆δ÷過25℃，避免高(gāo)溫或潮濕環境。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻膠材料

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽廣泛應用(yòng)于$✔★≠光(guāng)刻膠配方中，作(zuò)為(wèi★★ )一(yī)種光(guāng)酸生(shēng)成劑，能(néng)夠在α×紫外(wài)光(guāng)照(zhào&→)射下(xià)釋放(fàng)強酸，促進圖案轉移過程，提升光(guāng)刻ε>λΩ膠的(de)分(fēn)辨率。

（1）适用(yòng)于KrF、ArF及EUV光(guāng)刻工(gōng)藝，滿足高(α↓♥≤gāo)端半導體(tǐ)制(zhì)造中的(de‌<)需求。

（2）增強光(guāng)刻膠的(de)反應性，提φ$< 供優異的(de)分(fēn)辨率和(hé)‍β邊緣銳度，确保微(wēi)小(xiǎo)結構的(de)精準轉↕β印。

半導體(tǐ)制(zhì)造

該化(huà)合物(wù)在半導體(tǐ)光(guāng)刻工(gōng)藝↑↕♥∏中作(zuò)為(wèi)增感劑，有(yǒu)助于提高(gā∏>®o)光(guāng)刻膠的(de)曝光(guāng)靈敏度和(hé)≠&‌圖案清晰度。

（1）在微(wēi)米級及亞微(wēi)米級的(de)半導體(tǐ↓©)工(gōng)藝中，确保圖案的(de)高(gāo)精<φ度轉移。

（2）通(tōng)過優化(huà)光(guāng)刻​≤¥ 過程中的(de)酸生(shēng)成效率，提升生(shēng)産過程中的(←→ ×de)良品率。

電(diàn)子(zǐ)材料與功能(néng)塗層

雙(4-叔丁基苯基)碘鹽五氟乙烷磺酸鹽可(kě)用(yòng)于電(diàn)子(zǐ)σ<封裝材料和(hé)功能(néng)塗層中，作(↔‍↕zuò)為(wèi)催化(huà)劑和(hé)表面♣γ€改性劑，改善材料的(de)耐熱(rè)性和(hδ$±♣é)電(diàn)氣性能(néng)。

（1）在電(diàn)子(zǐ)封裝中提高(gāo)♣£材料的(de)熱(rè)穩定性和(hé)抗氧化(huà)性，延®​γ¥長(cháng)器(qì)件(jiàn)♥π​使用(yòng)壽命。

（2）作(zuò)為(wèi)塗層添加劑，提升∏£↓光(guāng)學穩定性、抗腐蝕性和(hé)電(diàn)氣特性。