| Product Name | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodid♥¥↕e chloride |
|---|---|
| CAS | 0-0-YH84024 |
| ProductNum | YH84024 |
| Formula | C20H26ClI |
| MW | 428.08 |
電(diàn)子(zǐ)級雙(4-叔丁基苯基)氯化(huà)碘鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)純度、特殊設計(jì)的(de)有(yǒ>♦¶≤u)機(jī)化(huà)學品,廣泛應用(yòng)于半導 ↑體(tǐ)制(zhì)造和(hé)光(gu⮥ ←ng)刻工(gōng)藝中。作(zuò)為(wèi)一(yī)種具有(yǒu≥¶)強烈電(diàn)負性的(de)化(huà)合物(wù),雙(4-叔丁基苯基)氯化(huà)碘鹽可(kě)以作(zuò)為(wèi)高(gāo↔↕♣)效的(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑,适€®δ用(yòng)于先進的(de)光(guāng)刻膠∞φ↓配方。該化(huà)合物(wù)以其優異的(de)光(guān£δ®g)敏性能(néng)和(hé)化(huà)學穩定性$₽ ↓,在微(wēi)電(diàn)子(zǐ)領域中發揮≠≥€著(zhe)至關重要(yào)的(de)作₩$Ω(zuò)用(yòng),特别是(shì)在高(gāo)精度圖案轉移和( ←↓hé)微(wēi)結構制(zhì)造中。
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【基本性質】
化(huà)學名稱:雙(4-叔丁基苯基)氯化(huà)碘鹽
英文(wén)名稱: BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) δ→©∞iodide chloride
分(fēn)子(zǐ)式:C20H26ClI
分(fēn)子(zǐ)量:428.08
外(wài)觀:黃(huáng)色至橙色固體(tǐ)
溶解性:可(kě)溶于有(yǒu)機(jī)溶劑如(r★&ú)二甲基亞硫酰胺(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等,溶解度較低(dī)于水(shuǐ)π₽§
熔點:約150-160℃
分(fēn)解溫度:>230℃
儲存條件(jiàn):應存放(fàng)在∞§←♣幹燥、陰涼、避光(guāng)環境中,避免溫度過高(gāo),推←ε薦儲存溫度不(bù)超過25℃
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠材料
作(zuò)為(wèi)一(yī)種光(guāng)酸生(shēng)成劑,雙¥(4-叔丁基苯基)氯化(huà)碘鹽能(néng)夠在光(guāngβ®)照(zhào)下(xià)釋放(fàng)強酸,促進光(✔£∏εguāng)刻膠的(de)化(huà)學反應,優化(huà)圖案分(fē←n)辨率和(hé)分(fēn)辨度。
(1)适用(yòng)于先進半導體(tǐ)光(guān≈&g)刻膠配方,特别是(shì)用(yòng)于KrF、ArF以及EUV光(guāng)刻工(gōng)藝。
(2)在高(gāo)精度光(guāng)刻過程中,提供優異的 ≠(de)分(fēn)辨率和(hé)圖案清晰度,滿足微(wēi)小(xiǎφ>®o)結構的(de)制(zhì)造需求。
半導體(tǐ)制(zhì)造
在半導體(tǐ)制(zhì)造過程中,該産品作(zuò)為(wèi)光(g&®uāng)刻膠的(de)增感劑,能(néng)夠有(yǒu)效提高(gāo)↔♥₽₩曝光(guāng)靈敏度和(hé)圖案轉≥ £±移的(de)精度。
(1)通(tōng)過提高(gāo)光(guāng)刻膠的(de¶λ)反應性,提升圖案的(de)精度和(hé)質量。
(2)在微(wēi)米級及亞微(wēi)米級的(de)半導體(tǐ)工(g¥♣★•ōng)藝中,确保光(guāng)刻過程中的(de)細節精準無誤。
電(diàn)子(zǐ)材料與功能(néng)塗層
該化(huà)合物(wù)還(hái)可(kδσ<♥ě)以作(zuò)為(wèi)功能(néng)性塗層的(de)催化λ₩₽£(huà)劑或助劑,改善電(diàn)子(zǐ)元件(jiàn)的± (de)表面性能(néng)和(hé)熱(≈∑↕γrè)穩定性。
(1)在電(diàn)子(zǐ)封裝領域,增強Ω→材料的(de)耐熱(rè)性和(hé)抗氧化(huà)性σ♣ε,延長(cháng)設備使用(yòng)壽命↔♣®。
(2)可(kě)用(yòng)于電(diàn)子(zǐ)器♠ (qì)件(jiàn)的(de)表面處理(lǐ)和(hé)功™★&能(néng)化(huà)塗層,提供額外(wài)的(de)光(g"₹↑uāng)學穩定性和(hé)電(diàn)氣♥Ω性能(néng)