| 英文(wén)名稱 | (4-TERT-BUTYLPHENYL)DIPHENYLSULFONIUM ∞← TRIFLATE |
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| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級 (4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽 |
| CAS号 | 145612-66-4 |
| 産品編号 | YH84014 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C23H23F3O3S2 |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 468.1 |
電(diàn)子(zǐ)級(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲基磺酸酯是(shì)一(yī)種用(yòng)于電(diàn)子(zǐ)工(g♠¥"★ōng)業(yè)的(de)功能(néng)性化↕✘≈(huà)學品,具有(yǒu)出色的(de)光(guā≥ ©ng)刻性能(néng)和(hé)熱(rè)穩定性。它常用(yòng)于半↑β導體(tǐ)和(hé)微(wēi)電(diàn)子(z✔σβ≥ǐ)制(zhì)造過程中,尤其在高(gāo)精§↓度光(guāng)刻技(jì)術(shù)中作(zuò)↔φ 為(wèi)光(guāng)敏劑或催化(huà≥™)劑,能(néng)夠增強光(guāng)刻膠的≠"£(de)性能(néng),提升圖形分(fēn)辨率。Ωα這(zhè)種化(huà)合物(wù)适用(yòng)于制(zhì)造高(gā§≤₹o)端集成電(diàn)路(lù)、微(wēi) •↔處理(lǐ)器(qì)和(hé)顯示器(qì)等高γΩ☆(gāo)精度電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(jiàn),滿足現(x₩★↕iàn)代電(diàn)子(zǐ)技(jì₽")術(shù)對(duì)材料的(de)嚴苛要(yào)求。
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【基本信息】
中文(wén)名稱:(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽
英文(wén)名稱:(4-TERT-BUTYLPHENYL)DIPHENYLSULFON↑&↔IUM TRIFLATE
化(huà)學式:C23H23F3O3S2
分(fēn)子(zǐ)量:468.1 g/mol
外(wài)觀:白(bái)色或類白(bái)色固體(tǐ)粉末
熔點:約180°C
溶解性:
(1)易溶于有(yǒu)機(jī)溶劑,如(rú)乙腈、DMF等
(2)不(bù)溶于水(shuǐ)
熱(rè)穩定性:在高(gāo)溫條件(γ∏ασjiàn)下(xià)具有(yǒu)良好(hǎo)的(de)熱(rè)穩定性∑∑,可(kě)耐受高(gāo)達200°C的(de)加工(gōng)環境
光(guāng)學特性:能(néng)夠有(yǒu)效吸收紫外 ★δ(wài)光(guāng),在光(guāng) ≥™刻過程中提高(gāo)光(guāng)反應效率
【應用(yòng)領域】
半導體(tǐ)制(zhì)造
(1)用(yòng)于光(guāng)刻膠配方中的(de)光(guāng)敏劑,幫✔↕✘δ助提高(gāo)蝕刻分(fēn)辨率,尤其适用(y ♥òng)于次納米級圖形制(zhì)程
(2)在芯片制(zhì)造中作(zuò)為(wèi)光(guāng)刻反應催化(•★huà)劑,能(néng)夠優化(huà)圖形的(de)邊緣清晰度,提™÷升蝕刻效果
集成電(diàn)路(lù)生(shēng)産©"≠α
(1)适用(yòng)于高(gāo)精度集成電(diàn)路(l≥'ù)的(de)制(zhì)造,能(néng)夠提高(gāo)器(qì)§γ<€件(jiàn)的(de)集成度和(hé)性能(☆δnéng)穩定性
(2)幫助減小(xiǎo)電(diàn)路(lù)中↑∞↕≈的(de)雜(zá)散電(diàn)容與電(diàγα✘n)感,提高(gāo)高(gāo)速信号傳輸性能(néng)
顯示器(qì)制(zhì)造
(1)在OLED、LCD等先進顯示器(qì)中用(yòng)作(zuò)功能(né∑≠δ>ng)材料,改善顯示器(qì)的(de)響應速度與色彩精度♥±§₽
(2)增強顯示器(qì)件(jiàn)薄膜材料的(de)耐熱(rè)性與耐δ∞久性,延長(cháng)使用(yòng)壽命
電(diàn)子(zǐ)級(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲基磺酸酯憑借其優異的(de)光(guāng)化(huà)學與熱(rè)穩定性能(nén☆¥g),廣泛應用(yòng)于高(gāo)端電(diàn)子(< zǐ)器(qì)件(jiàn)制(zhì)造領域,尤其在先進光(guāng)刻±↓≠✔技(jì)術(shù)中具有(yǒu)重要(yào)的(de≥€)應用(yòng)價值。