| 英文(wén)名稱 | Sulfonium, triphenyl-, 2,3,§↓€4,5,6-pentafluorobenzen©£ esulfonate (1:1) |
|---|---|
| 中文(wén)名稱 | 電(diàn)子(zǐ)級 三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽 (1:1↕≈≠) |
| CAS号 | 153698-46-5 |
| 産品編号 | YH84012 |
| 分(fēn)子(zǐ)式 | C24H15F5O3S2 |
| 分(fēn)子(zǐ)量 | 510.04 |
電(diàn)子(zǐ)級三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽 (1:1)（Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5★×∏≈,6-pentafluorobenzenesulfonate）是(shì)一(yī)種重要(yào)的(de)光(guāng)酸λ•生(shēng)成劑，廣泛應用(yòng)于高(gāo)端電(di©§àn)子(zǐ)材料的(de)制(zhì)造中₹≈₹。該産品以其高(gāo)純度和(hé)出色的(de)光(guāng)♠∑ 敏性而著稱，适用(yòng)于電(diàn)子(zǐΩ)級應用(yòng)中的(de)光(guāng)刻膠和(hé)₽™光(guāng)刻工(gōng)藝。作(zu♦δεò)為(wèi)一(yī)種光(guān≈¥g)引發劑，它能(néng)夠在特定波長(cháng)的(de)光(guāngα )照(zhào)下(xià)分(fēn)解 σ∞®産生(shēng)酸，進而引發後續化(hu €à)學反應，是(shì)先進光(guāng)刻技(jì)術(÷shù)中關鍵的(de)化(huà)學品之一(yī)。特别是• ®(shì)在半導體(tǐ)和(hé)微(wēi)電♥π(diàn)子(zǐ)制(zhì)造中，Sul←×fonium, triphenyl-, 2,3,£←σΩ4,5,6-pentafluoroben>zenesulfonate（1:1）的(♣£de)應用(yòng)能(néng)夠有(yǒu)效提升工(gōng)藝精度和&≠δ≠(hé)産品質量。
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［物(wù)理(lǐ)性質］
化(huà)學名稱：三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽
英文(wén)名稱：Sulfonium, trπ↕iphenyl-, 2,3,4,5,6-pentaf✔αluorobenzenesulfonate (1:1)
分(fēn)子(zǐ)式：C24H15F5O3S2
分(fēn)子(zǐ)量：510.04
結構特點：該化(huà)合物(wù)由一(yī)個(gè)三苯基磺鎓陽 ¥離(lí)子(zǐ)和(hé)一(yī)個(gè)五氟苯磺酸陰離(lí≤✔)子(zǐ)組成，具有(yǒu)較高(gāo)的(de)電('£₹÷diàn)子(zǐ)親和(hé)性和(hé)穩定性。
外(wài)觀與狀态
外(wài)觀：白(bái)色或淡黃(huá←✔✘ng)色晶體(tǐ)粉末
熔點：110-120°C
溶解性：可(kě)溶于多(duō)種有(yǒ₹✘u)機(jī)溶劑，如(rú)丙酮、二氯甲烷和£≈♠≤(hé)甲醇，難溶于水(shuǐ)。
純度與穩定性
純度：≥99.5%（電(diàn)子(zǐ)級）
穩定性：在室溫條件(jiàn)下(xià)穩定，避免長(ch& €áng)時(shí)間(jiān)暴露于強光(guāng)和(hé)高(gāo)溫<ε環境中，以防止光(guāng)分(fēn)解。
儲存條件(jiàn)：建議(yì)在幹燥、避光(guāng)的(de)環≤±境中儲存，并密封保存以防吸濕。
［應用(yòng)領域］
光(guāng)刻膠中的(de)應用(yòng)
（1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)酸生(shēng)成劑，三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽（1:1）在光(guāng)刻膠中用(yòng)于生(shēng)成酸性活¶£性物(wù)質，從(cóng)而促進光(gu>¶₹āng)緻反應，提高(gāo)光(guāng≠γ♠)刻膠的(de)感光(guāng)效率。
（2）該化(huà)合物(wù)在深紫外(wài)（DUV）≥♠Ω和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng€λ)刻膠中表現(xiàn)出優異的(de)光$♠¥±(guāng)敏性，适用(yòng)于高(Ω>$gāo)精度微(wēi)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(j♥✘iàn)的(de)制(zhì)造。
（3）由于其高(gāo)純度和(hé)低(dī)金(jīn)屬離(☆®"lí)子(zǐ)含量，能(néng)夠有(yǒu)↑®✔♣效減少(shǎo)光(guāng)刻過程©σ∏中雜(zá)質的(de)引入，提高(gāβ >o)芯片的(de)良率。
半導體(tǐ)制(zhì)造中的(de)應用(yòng)
（1）三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽（1:1）作(zuò)為(wèi)光(guāng)引發劑，廣泛用(yòng₹✔$∞)于半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn)→ 的(de)微(wēi)細加工(gōng)過程中，特别是(<↔" shì)在蝕刻和(hé)塗層工(gōng)藝中。
（2）它可(kě)以在特定波長(cháng)光(gu<φāng)照(zhào)下(xià)分(fēn)解産生(sh×"ēng)強酸，有(yǒu)助于提高(gā•≤↑o)蝕刻精度，滿足納米級工(gōng)藝要(y↑¶ào)求。
（3）該産品在先進封裝技(jì)術(shù)中也(yεπ$ě)有(yǒu)應用(yòng)，尤其是(shì)在高(gāo)密度互連和(♠✔₽☆hé)三維集成電(diàn)路(lù)制↓&$₩(zhì)造中，能(néng)夠提高(gāo)工(gōng)>₩γ藝控制(zhì)能(néng)力。
顯示器(qì)制(zhì)造中的(de)應用(yòng)
（1）在顯示器(qì)生(shēng)産過程中，三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽（1:1）用(yòng)于光(guāng)刻和(hé)塗布工(gōng)藝♥" ，幫助實現(xiàn)高(gāo)分(fεσ♠ēn)辨率的(de)顯示效果。
（2）其優異的(de)光(guāng)敏性能(néng)使其适用(yòng)♣≥于生(shēng)産薄膜晶體(tǐ)管液晶顯示器(q§<ì)（TFT-LCD）和(hé)有(yǒu)機(jī)發光(guāng)二≈$ε極管顯示器(qì)（OLED），顯著提升圖像質量和(hé)顯示亮™&(liàng)度。
（3）在柔性顯示器(qì)制(zhì)造中，該産品的(d≥¥>e)高(gāo)純度和(hé)低(dī)污染特性有(yǒu)助于減少(shǎo•✘¶×)瑕疵，提高(gāo)顯示器(qì)的(de)良率和(hé)壽命。
總結
電(diàn)子(zǐ)級三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽 (1:1) 作(zuò)為(wèi)一(yī)種高(gāo)效的✔₹(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑，憑借其優異的(de)光(gu ®¥®āng)敏性能(néng)和(hé)高(gāo)純度，已成為(wè←Ωi)半導體(tǐ)和(hé)顯示器(qì)制(zhì)造領域的(de ₩)重要(yào)材料。在光(guāng)刻膠、蝕刻和(hé)微(wēi)細加工∞©↕∑(gōng)等應用(yòng)中，該化(huà)合物(wù) ✔₩↑能(néng)夠顯著提高(gāo)工(gōng)藝精✘&Ω<度和(hé)産品質量，是(shì)現(xià≥n)代電(diàn)子(zǐ)制(zhì)造工(g↕¶ōng)藝中不(bù)可(kě)或缺的(de)核心∑<₽化(huà)學品。
