電(diàn)子(zǐ)級 雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸

電(diàn)子(zǐ)級雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是(shì)一(yī)種高(gāo)純度光(guāng)敏化(h'≥δ‌uà)合物(wù)，廣泛應用(yòng)于先進微(wēi)電(δ®↔diàn)子(zǐ)和(hé)光(guāng)刻材料中。其結構中含有(yǒ¶©u)穩定的(de)碘鎓陽離(lí)子(zǐ)"↑¶♣和(hé)全氟丁基磺酸陰離(lí)子(zǐ)，賦予了(le)其優異的(d©>→£e)光(guāng)敏性和(hé)化(huà←♠↔↕)學穩定性。該産品主要(yào)用(yòng)于深紫外('ε"™wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻膠，助力高(gāo)精度光(guāng)刻圖形的π≤∞(de)生(shēng)成，适用(yòng)•<于半導體(tǐ)和(hé)微(wēi)納電(d λiàn)子(zǐ)制(zhì)造的(de)先進工(gōng)藝。

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【物(wù)理(lǐ)性質】

基本性質

（1）化(huà)學名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。

（2）分(fēn)子(zǐ)式：C₂₄H₂₆F₉IO₃S

（3）分(fēn)子(zǐ)量：692.414 g/mol

外(wài)觀與溶解性

（1）外(wài)觀：白(bái)色至淡黃(huáng)色粉末或結 ®π£晶體(tǐ)。

（2）溶解性：可(kě)溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(jī↔≤)溶劑，如(rú)甲醇、乙腈和(hé)丙酮，微(™±wēi)溶于水(shuǐ)。

熱(rè)穩定性與純度

（1）熱(rè)穩定性：在200℃以下(xià)保持化(huà)學穩定性。

（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級材料的(de)質&β量要(yào)求。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻膠材料

（1）作(zuò)為(wèi)深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻膠中的(de)光(guāng)酸↔♠∞​生(shēng)成劑，提高(gāo)光(guāng)→φ≤ 刻分(fēn)辨率和(hé)加工(gōng)精度。♥¶

（2）用(yòng)于高(gāo)端芯片制(zhì)造§♦中，支持先進工(gōng)藝節點的(de)生(shēng£<↕)産。

微(wēi)電(diàn)子(zǐ)制(zhì)造

（1）在晶圓加工(gōng)環節提供高(gāo)效的(de÷•↓★)光(guāng)敏功能(néng)，幫助實現(xià‌♣n)高(gāo)分(fēn)辨率的(de£≠≈)圖形轉移。

（2）适用(yòng)于多(duō)層膜結構和(hé←≠♥↓)微(wēi)納器(qì)件(jiàn)的(de)制™∏≥(zhì)作(zuò)。

顯示與光(guāng)電(diàn)應用(yòng)

（1）支持高(gāo)分(fēn)辨率顯示器(qì)單元∑π的(de)光(guāng)刻工(gōng)藝，提升顯示性能(néng)。

（2）應用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子(zǐ)♣™器(qì)件(jiàn)制(zhì)造，提高">Ω(gāo)器(qì)件(jiàn)性能(néng)和(hé)可(★≠σ♠kě)靠性。