電(diàn)子(zǐ)級雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是(shì)一(yī)種高(gāo)純度光♥₩(guāng)敏化(huà)合物(wù)，廣泛應用(yòng✘$)于先進微(wēi)電(diàn)子(zǐ)和(hé)₹≥€光(guāng)刻材料中。其結構中含有(yǒu)穩定的(de®)碘鎓陽離(lí)子(zǐ)和(hé)全氟丁基磺酸陰離(lí)子(≈≥zǐ)，賦予了(le)其優異的(de)光(guāng)敏性&€♥和(hé)化(huà)學穩定性。該産品主要(yào)用(yòng)于深®Ω®紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻膠，助力高(gāo)精度光(guāng)刻圖形的(de)生&ε δ(shēng)成，适用(yòng)于半導體(tǐ)和(hé)微(wēi)納電(<÷₽diàn)子(zǐ)制(zhì)造的(de)先進工(gōng)藝。
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【物(wù)理(lǐ)性質】
基本性質
（1）化(huà)學名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。
（2）分(fēn)子(zǐ)式：C24H26F9IO3S
（3）分(fēn)子(zǐ)量：692.414 g/mol
外(wài)觀與溶解性
（1）外(wài)觀：白(bái)色至淡黃(huáng)色粉末或結晶體(t ✘↕★ǐ)。
（2）溶解性：可(kě)溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(jī)♥λ溶劑，如(rú)甲醇、乙腈和(hé)丙酮，微(wēi)溶于水(shuǐ)。
熱(rè)穩定性與純度
（1）熱(rè)穩定性：在200℃以下(xià)保持化(huà)學穩定性。
（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級材料的(de)質量要(yào)求。
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠材料
（1）作(zuò)為(wèi)深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻膠中的(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑，提高←↔↑(gāo)光(guāng)刻分(fēn)辨率和(hé)加工(gōλ∑≠ng)精度。
（2）用(yòng)于高(gāo)端芯片制(zhì)造中，支持≈ε先進工(gōng)藝節點的(de)生(shēn∑∑↔♥g)産。
微(wēi)電(diàn)子(zǐ)制(zhì)造
（1）在晶圓加工(gōng)環節提供高(gāo)≥®效的(de)光(guāng)敏功能(néng)，幫助實現(xiàn)高( →gāo)分(fēn)辨率的(de)圖形轉移。
（2）适用(yòng)于多(duō)層膜結構和(hé)微(wēi)納器₩π®✔(qì)件(jiàn)的(de)制(zhì)作(zuò)。
顯示與光(guāng)電(diàn)應用(yòng)
（1）支持高(gāo)分(fēn)辨率顯示器(qì)單元的(de)光(εβ••guāng)刻工(gōng)藝，提升顯示✘$性能(néng)。
（2）應用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件(j ₹ ♠iàn)制(zhì)造，提高(gāo)器(qì)件(jiàn)性能(¶×néng)和(hé)可(kě)靠性。
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