電(diàn)子(zǐ)級 二氟-(3-羟基-金★'★↑(jīn)剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽

電(diàn)子(zǐ)級二氟-(3-羟基-金(jīn)剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)效光☆ε★(guāng)酸生(shēng)成劑，專為(wèi)高(gāo)精度光(guδ‍āng)刻工(gōng)藝設計(jì)。'Ω♠該化(huà)合物(wù)具有(yǒu)優異的(d♣ "e)光(guāng)敏性和(hé)化(huà)學穩定性，能(nΩ→éng)夠在深紫外(wài)（DUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻工(gōng)藝中提供×™€§卓越的(de)性能(néng)。其獨特的←★(de)分(fēn)子(zǐ)結構，結合金±♦&$(jīn)剛烷基與锍鹽功能(néng)團，确保高(gāo)÷&♣效的(de)光(guāng)反應與材料穩定性，适♦β用(yòng)于先進半導體(tǐ)與微(wēi)納制(zhì)造工(gōn'•δg)藝。

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【物(wù)理(lǐ)性質】

基本性質

（1）化(huà)學名稱：二氟-(3-羟基-金(jīn)剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽。

（2）分(fēn)子(zǐ)式：C₃₅H₄₀F₂O₆S₂

（3）分(fēn)子(zǐ)量：658.82 g/mol

外(wài)觀與溶解性

（1）外(wài)觀：白(bái)色或淺黃(hu< ©₹áng)色結晶粉末。

（2）溶解性：易溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(jī)溶劑，如(rú)甲醇φ→≥、乙腈和(hé)丙酮，溶解性能(néng)優異。

熱(rè)穩定性與純度

（1）熱(rè)穩定性：在200℃以下(xià)保持良好(hǎo)的(de)化(Ω™huà)學穩定性。

（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級化(huà≤ )學品要(yào)求，适配先進制(zhì)造工(gōng)藝。

【應用(yòng)領域】

光(guāng)刻膠材料

（1）作(zuò)為(wèi)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠的(de)光(guāng)酸生(sh✔αēng)成劑，提高(gāo)光(guāng)刻分(fēn)辨率和(hé)加☆∞>工(gōng)精度。

（2）适用(yòng)于先進光(guāng)刻工(gōng)藝，助力高(gāo)端♣★芯片制(zhì)造。

半導體(tǐ)制(zhì)造

（1）在晶圓加工(gōng)中提供高(gāo)效的(deα♣)光(guāng)敏反應，支持高(gāo)精度的(de)圖形轉‌ ε移。

（2）适用(yòng)于7nm及以下(xià)先進制(zhì)程工(gōng)藝。

光(guāng)電(diàn)子(zǐ)與顯示技(jì)術(∏​shù)

（1）支持高(gāo)分(fēn)辨率顯示器♠ &(qì)制(zhì)造的(de)光(guāng&β)刻需求，優化(huà)圖形精度。

（2）應用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器→★®(qì)件(jiàn)生(shēng)産，提升器(↔λqì)件(jiàn)性能(néng)與可∏×↔₽(kě)靠性。