電(diàn)子(zǐ)級二氟-(3-羟基-金(jīn)剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽是(shì)一(yī)種高(gāo)效光(gu¶≤≤āng)酸生(shēng)成劑，專為(wèi)高(gāo)精度光(guāφ"β₩ng)刻工(gōng)藝設計(jì)。該化(hu∞♣à)合物(wù)具有(yǒu)優異的(de)光(guāng)敏性和(hé)化™≈(huà)學穩定性，能(néng)夠在深紫外(wài)（φαDUV）和(hé)極紫外(wài)（EUV）光(guāng)刻工(gōng)藝中提供卓越≠®的(de)性能(néng)。其獨特的(de)分(fēn)子(zǐφγ)結構，結合金(jīn)剛烷基與锍鹽功能(néng)團，确保§Ω↑高(gāo)效的(de)光(guāng)反應與材料穩定性，☆✔适用(yòng)于先進半導體(tǐ)與微(wēi)納制(zhì∞≠)造工(gōng)藝。
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【物(wù)理(lǐ)性質】
基本性質
（1）化(huà)學名稱：二氟-(3-羟基-金(jīn)剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽。
（2）分(fēn)子(zǐ)式：C35H40F2O6S2
（3）分(fēn)子(zǐ)量：658.82 g/mol
外(wài)觀與溶解性
（1）外(wài)觀：白(bái)色或淺黃(huán♥©δg)色結晶粉末。
（2）溶解性：易溶于常見(jiàn)有(yǒu)機(jī)溶劑，如(×₽¶ rú)甲醇、乙腈和(hé)丙酮，溶解性能(néng ↓©)優異。
熱(rè)穩定性與純度
（1）熱(rè)穩定性：在200℃以下(xià)保持良好(hǎo)的(de)化(huà)學穩定性。
（2）純度：≥99.9%，符合電(diàn)子(zǐ)級化(huà)學品要(yào)求，>适配先進制(zhì)造工(gōng)藝。
【應用(yòng)領域】
光(guāng)刻膠材料
（1）作(zuò)為(wèi)DUV和(hé)EUV光(guāng)刻膠的(de)光(guāng)酸生(shēng)成劑，提高(g♠®āo)光(guāng)刻分(fēn)辨率和(hé)加工(gōngλ±₩)精度。
（2）适用(yòng)于先進光(guāng)↔£"刻工(gōng)藝，助力高(gāo)端芯片Ω♣€ 制(zhì)造。
半導體(tǐ)制(zhì)造
（1）在晶圓加工(gōng)中提供高(gāo)效的(de)光(guān→ ÷♥g)敏反應，支持高(gāo)精度的(de)圖形♥λ∏↕轉移。
（2）适用(yòng)于7nm及以下(xià)先進制(zhì)程工(gōng)藝。
光(guāng)電(diàn)子(zǐ)與顯示技(jì)術(shù)
（1）支持高(gāo)分(fēn)辨率顯示器(qì♥λ)制(zhì)造的(de)光(guāng)"↑©刻需求，優化(huà)圖形精度。
（2）應用(yòng)于光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(qì)↓ε件(jiàn)生(shēng)産，提升器(qì)件(jiàn)¶π性能(néng)與可(kě)靠性。
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